Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 ; 05.11.14 / Алтухов Андрей Александрович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Алтухов, А. А. |
| Published: | Москва , 2005 |
| Physical Description: |
25 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||