Электофизические свойства нетрадиционных диэлектрических слоев (ионно синтезированный SiO2 и HfO2, ZrO2, Al2O3) на поверхности кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Дмитриев Валентин Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД148927,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дмитриев, В. А.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2005
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br787506
005 20070615183721.8
100 # # $a 20051227d2005 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Электофизические свойства нетрадиционных диэлектрических слоев (ионно синтезированный SiO2 и HfO2, ZrO2, Al2O3) на поверхности кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Дмитриев Валентин Александрович  $g Санкт-Петербургский государственный университет 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2005 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиография: с. 16 (8 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar61477  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar61478  $a ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39285  $a ЭЛЕКТРАФІЗІЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24597  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-472438  $a Дмитриев  $b В. А.  $g Валентин Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20051227  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo