Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Любимский Владимир Михайлович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Любимский, В. М. |
| Publié: | Новосибирск , 2005 |
| Description matérielle: |
37 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||