Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Любимский Владимир Михайлович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Любимский, В. М. |
| Published: | Новосибирск , 2005 |
| Physical Description: |
37 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||