Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Любимский Владимир Михайлович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Любимский, В. М. |
| Veröffentlicht: | Новосибирск , 2005 |
| Beschreibung: |
37 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||