Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Любимский Владимир Михайлович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Любимский, В. М. |
| Апублікавана: | Новосибирск , 2005 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
37 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||