|
|
|
|
|
00000cam0a22000004id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br779418 |
| 005 |
20230213105112.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20051205d2004 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 106 |
# |
# |
$a h
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ab
|
| 200 |
1 |
# |
$a Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e защищена 21.01.05
$e утверждена 25.05.05
$e 01.04.07 ; 05.27.01
$f Гранько Сергей Владимирович
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 188, [4] л.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: л. 166-174 (124 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24353
$a ПОЛИМЕРНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15093
$a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24354
$a ПАЛІМЕРНЫЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.002(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-587361
$a Гранько
$b С. В.
$g Сергей Владимирович
$c кандидат технических наук
$c микроэлектроника
$f род. 1973
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051205
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br779418&fileID=1726152
|
