Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Паутов Илья Юрьевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Паутов, И. Ю. |
| Апублікавана: | Рыбинск , 2004 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16 c.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||