|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br728381 |
| 005 |
20220415122525.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050610d2004 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Авдиенко Александр Андреевич
$g [Компания "МЭТИС"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 30 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 27-30 (40 названий).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18377
$a МІКРАЭЛЕКТРОННЫЯ ЎСТРОЙСТВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28572
$a Россия
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28573
$a Расія
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.21
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-639360
$a Авдиенко
$b А. А.
$g Александр Андреевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050610
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
