Технология формирования структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Тимошенков Сергей Петрович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Тимошенков, С. П. (род. 1957) |
| Publié: | Москва , 2004 |
| Description matérielle: |
45 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||