Технология формирования структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Тимошенков Сергей Петрович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Тимошенков, С. П. (род. 1957) |
| Publicado: | Москва , 2004 |
| Descripción Física: |
45 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||