Технология формирования структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Тимошенков Сергей Петрович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Тимошенков, С. П. (род. 1957) |
| Published: | Москва , 2004 |
| Physical Description: |
45 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||