Технология формирования структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Тимошенков Сергей Петрович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Тимошенков, С. П. (род. 1957) |
| Veröffentlicht: | Москва , 2004 |
| Beschreibung: |
45 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||