Технология формирования структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Тимошенков Сергей Петрович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Тимошенков, С. П. (род. 1957) |
| Апублікавана: | Москва , 2004 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
45 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||