|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br723313 |
| 005 |
20080331160714.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050526d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Силаков Михаил Валерьевич
$g Физико-технологический институт Российской академии наук
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21-22 (8 названий).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23438
$a ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37857
$a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24114
$a ПАДЛОЖКІ (электроніка)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33875
$a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37858
$a ЛІКАВАЕ МАДЭЛЯВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18882
$a МОНТЭ-КАРЛА МЕТАД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18881
$a МОНТЕ-КАРЛО МЕТОД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23439
$a ПЯЧАТНЫЯ ПЛАТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790887
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28572
$a Россия
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28573
$a Расія
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-595990
$a Силаков
$b М. В.
$g Михаил Валерьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050526
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
