|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br721814 |
| 005 |
20070615192630.1 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050524d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$f Кирюшина Ирина Васильевна
$g [Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 c.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: c. 20-21 (9 названий).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15093
$a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23735
$a ПЛАСЦІНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23734
$a ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-593901
$a Кирюшина
$b И. В.
$g Ирина Васильевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050524
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
