Синтез и ионно-лучевая модификация алмазоподобных углеродных пленок: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Базаров Валерий Вячеславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад121233,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Базаров, В. В.
Опубликовано: Казань , 2003
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br693703
005 20070615192419.3
100 # # $a 20050303d2003 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Синтез и ионно-лучевая модификация алмазоподобных углеродных пленок  $e автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Базаров Валерий Вячеславович  $g [Казан. физ.-техн. ин-т им. Е.К.Завойского КазНЦ РАН] 
210 # # $a Казань  $d 2003 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 14-16. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35015  $a УГЛЕРОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35016  $a ВУГЛЯРОДНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12163  $a ІОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-580529  $a Базаров  $b В. В.  $g Валерий Вячеславович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050303  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo