Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.02.13 / Каблуков Андрей Леонидович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Каблуков, А. Л. |
| 出版: | М. , 2003 |
| 實物描述: |
26 с.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||