Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.02.13 / Каблуков Андрей Леонидович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Каблуков, А. Л. |
| Wydane: | М. , 2003 |
| Opis fizyczny: |
26 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||