Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.02.13 / Каблуков Андрей Леонидович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Каблуков, А. Л. |
| Publié: | М. , 2003 |
| Description matérielle: |
26 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||