Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.02.13 / Каблуков Андрей Леонидович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Каблуков, А. Л. |
| Published: | М. , 2003 |
| Physical Description: |
26 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||