Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.02.13 / Каблуков Андрей Леонидович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Каблуков, А. Л. |
| Апублікавана: | М. , 2003 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
26 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||