|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br684902 |
| 005 |
20190206144839.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050208d1983 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности формирования вторичных дефектов структуры в ионно-имплантационных слоях (001) кремния при термообработке
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.07 Физика твердого тела
$f Ширяев Сергей Юрьевич
$g Академия наук БССР, Институт физики твердого тела и полупроводников
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 14 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 13―14 (13 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33558
$a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35849
$a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar87382
$a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 537.311.322:548.4(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 nsnrsssr
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-360642
$a Ширяев
$b С. Ю.
$g Сергей Юрьевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2446913
$a Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко
$c Минск
$4 595
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar81841
$a Институт физики твердого тела и полупроводников
$c Минск
$4 995
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050208
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br684902&fileID=224616
|
