Химическое травление полупроводниковых соединений: Учеб.пособие по курсу"Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / Моск.ин-т электрон.техники

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок12466,
Вид документа: Книги
Автор: Сорокин, И. Н.
Опубликовано: М. : МИЭТ , 1992
Физические характеристики: 96с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br6841
005 20201214140728.0
010 # # $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 93-8855 
100 # # $a 19930724d1992 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Химическое травление полупроводниковых соединений  $e Учеб.пособие по курсу"Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники"  $f Моск.ин-т электрон.техники 
210 # # $a М.  $c МИЭТ  $d 1992 
215 # # $a 96с. 
300 # # $a Библиогр.:с.81-82(10назв.) 
345 # # $9 300экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39120  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36833  $a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39121  $a ЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36834  $a ХІМІЧНАЕ ТРАЎЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.049.77.002.3:621.794.4(075.8)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.09.63  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-159416  $a Сорокин  $b И. Н.  $g Игорь Николаевич 
701 # 1 $3 BY-SEK-159417  $a Назаров  $b Н. Г.  $g Николай Геннадьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930724  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo