Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А. Ф. Буренков [и др.]
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Publicado: | Минск : ИМ АН БССР , 1991 |
| Descripción Física: |
24, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Lenguaje: | Русский |
| Colección: |
Препринт
№ 3 (453) |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||