Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.07; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Апублікавана: | Мн. , 2004 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||