Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10: Защищена 13.02.04: Утв. 13.05.04 / Петлицкий Александр Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад5262,
Вид документа: Диссертации
Автор: Петлицкий, А. Н.
Опубликовано: Мн. , 2004
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
ПРИМЕСИ
ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ДЕФЕКТЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПАЎПРАВАДНІКІ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
ПАДЛОЖКІ (электроніка)
ПРЫМЕСІ
ГЕТЭРАВАННЕ
ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
ДЭФЕКТЫ
КРЭМНІЙ
КРЕМНИЙ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br650579
005 20220225154153.0
100 # # $a 20041021d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $e Защищена 13.02.04  $e Утв. 13.05.04  $f Петлицкий Александр Николаевич 
210 # # $a Мн.  $d 2004 
300 # # $a Библиогр.: л. 95-105 (132 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24604  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24605  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25539  $a ПРЫМЕСІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33559  $a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58310  $a ГЕТЭРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9083  $a ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9084  $a ДЭФЕКТЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 548.4(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77.002.3:537.311.322(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
686 # # $a 29.19.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar7103445  $a Петлицкий  $b А. Н.  $g Александр Николаевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20041021  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br650579&fileID=1392624 

Схожие документы