Алюмооксидные микро-наноструктуры для микроэлектромеханических систем / Н. И. Мухуров

Gespeichert in:
Шифр документа: 1Ба364326, 1Ба364327,
Format: Книги
1. Verfasser: Мухуров, Н. И. (род. 1954)
Veröffentlicht: Минск : Бестпринт , 2004
Beschreibung: 165 с. : ил., табл. ; 20 см
Sprache: Русский
Schlagworte:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ОКСИД АЛЮМИНИЯ
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА
АКСІД АЛЮМІНІЮ
АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
МЕТАЛІЧНЫЯ ПЛЁНКІ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ХІМІЧНАЯ ТЭХНАЛОГІЯ
ФУНКЦЫЯНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА
МІКРАСТРУКТУРЫ (фіз.)
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br642941
005 20200904140321.0
010 # # $a 985-6722-84-5 
100 # # $a 20040927d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Алюмооксидные микро-наноструктуры для микроэлектромеханических систем  $f Н. И. Мухуров  $g Национальная академия наук Беларуси, Государственное научное учреждение "Институт электроники НАН Беларуси" 
210 # # $a Минск  $c Бестпринт  $d 2004 
215 # # $a 165 с.  $c ил., табл.  $d 20 см 
320 # # $a Библиография: с. 156―165 (136 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36625  $a ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36779  $a ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32977  $a ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78053  $a АКСІД АЛЮМІНІЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83380  $a АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60039  $a МЕТАЛІЧНЫЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36780  $a ХІМІЧНАЯ ТЭХНАЛОГІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36626  $a ФУНКЦЫЯНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18307  $a МІКРАСТРУКТУРЫ (фіз.)  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77:621.319-416  $v 3  $z rus 
675 # # $a 546.62-31:544.72.02  $v 3  $z rus 
675 # # $a 539.2  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.17.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 28.19.22  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.35  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-320837  $a Мухуров  $b Н. И.  $g Николай Иванович  $c доктор технических наук  $f род. 1954 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2460032  $a Институт электроники  $c Минск  $4 570 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040927  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 

Ähnliche Einträge