Современное состояние и перспективы развития автоматизации процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / [Л. Ю. Емельянова]

Сохранено в:
Шифр документа: Ба135804, БА135213,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : БелНИИНТИ , 1974
Язык: Русский
Серия: Серия "Радиоэлектроника, электроника и электросвязь"
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br629041
005 20130430183529.0
010 # # $d 3 к. 
100 # # $a 20040720d1974 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y z 000yy 
109 # # $a ja 
200 1 # $a Современное состояние и перспективы развития автоматизации процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем  $f [Л. Ю. Емельянова] 
210 # # $a Минск  $c БелНИИНТИ  $d 1974 
225 1 # $a Серия "Радиоэлектроника, электроника и электросвязь"  $e экспресс-информация  $f Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований Госплана БССР 
320 # # $a Библиография: с. 11 
345 # # $9 105 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1563  $a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.38-027.3:338.364  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.01.85  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.01.11  $2 rugasnti  $v 5 
701 # 1 $3 BY-SEK-184224  $a Емельянова  $b Л. Ю. 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar201863  $a Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040720  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo