|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br628823 |
| 005 |
20220414175808.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 5 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20040719d1980 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ja
|
| 200 |
1 |
# |
$a Современное состояние и перспективы развития оборудования для нанесения тонких пленок
$f [Е. В. Каськова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c БелНИИНТИ
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 9, [1] с.
$d 20 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Серия "Радиотехника, электроника, электросвязь"
$e экспресс-информация
$f Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований Госплана БССР
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце текста
|
| 345 |
# |
# |
$9 250 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7404
$a ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2669212
$a ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2740053
$a ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ОБОРУДОВАНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.776.21:621.793.1
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182232
$a Каськова
$b Е. В.
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar201863
$a Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040719
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
