Формирование диэлектрических и металлических пленок в производстве МОП-интегральных схем плазменными методами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Пухов Виктор Иванович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Пухов, В. И. |
| Publicado: | Мн. , 1967 |
| Descripción Física: |
18 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||