Формирование диэлектрических и металлических пленок в производстве МОП-интегральных схем плазменными методами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Пухов Виктор Иванович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Пухов, В. И. |
| Published: | Мн. , 1967 |
| Physical Description: |
18 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||