|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br611278 |
| 005 |
20070919120715.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20040521d1982 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка новых технологических методов получения фотошаблонов с пониженной дефектностью для больших интегральных схем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.12.18
$f Погоцкий Эдуард Иосифович
$g Мин. радиотехн. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.)
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служ. пользования.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105397
$a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85257
$a ФОТАЛІТАГРАФІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85262
$a ФОТОШАБЛОНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85263
$a ФОТАШАБЛОНЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.75:774(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-535976
$a Погоцкий
$b Э. И.
$g Эдуард Иосифович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040521
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br611278&fileID=997249
|
