Исследование и разработка процессов ионно-плазменной обработки в технологии создания биполярных БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Гранько Владимир Ильич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99916,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гранько, В. И.
Опубликовано: Мн. , 1982
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br566824
005 20090116120402.0
100 # # $a 20031217d1982 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и разработка процессов ионно-плазменной обработки в технологии создания биполярных БИС  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $f Гранько Владимир Ильич  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1982 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-23 (14 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105397  $a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.774.3'14.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-494820  $a Гранько  $b В. И.  $g Владимир Ильич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031217  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br566824&fileID=942339