Разработка материалов и процессов формирования термостабильных силицидсодержащих контактных слоев блоков токопроводящих систем изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.10.1983 / Шаталов Виктор Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад98892,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шаталов, В. В.
Опубликовано: Мн. , 1983
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОКОПРОВОДЫ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ КАНТАКТЫ
ТОКАПРАВОДЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br560187
005 20081114163723.0
100 # # $a 20031117d1983 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка материалов и процессов формирования термостабильных силицидсодержащих контактных слоев блоков токопроводящих систем изделий микроэлектроники  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $e 00.10.1983  $f Шаталов Виктор Васильевич  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1983 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-24 (23 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34098  $a ТОКОПРОВОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2143210  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121097  $a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105397  $a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2143212  $a ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ КАНТАКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34099  $a ТОКАПРАВОДЫ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-215743  $a Шаталов  $b В. В.  $g Виктор Васильевич  $c микроэлектронная техника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031117  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br560187&fileID=938279 

Схожие документы