Электронно-спектроскопические исследования физических свойств эпитаксиальных комбинаций и ионно-имплантированных слоев в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.04 / Эгамбердиев Бахром Эгамбердиевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Эгамбердиев, Б. Э. |
| Опубликовано: | Ташкент , 2003 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||