Электронно-спектроскопические исследования физических свойств эпитаксиальных комбинаций и ионно-имплантированных слоев в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.04 / Эгамбердиев Бахром Эгамбердиевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад96607,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Эгамбердиев, Б. Э.
Опубликовано: Ташкент , 2003
Физические характеристики: 32 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br502691
005 20070615192219.8
100 # # $a 20030827d2003 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a uz 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Электронно-спектроскопические исследования физических свойств эпитаксиальных комбинаций и ионно-имплантированных слоев в кремнии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 01.04.04  $f Эгамбердиев Бахром Эгамбердиевич  $g Акад. наук Респ. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арифова 
210 # # $a Ташкент  $d 2003 
215 # # $a 32 с. 
300 # # $a Рез. парал.: узб., англ 
300 # # $a Библиогр.: с. 26-30 (41 назв.). 
686 # # $a 47.03.13  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.35  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-566975  $a Эгамбердиев  $b Б. Э.  $g Бахром Эгамбердиевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030827  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo