Численное моделирование плазмохимических реакторов травления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / Горобчук Алексей Геннадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад94967,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Горобчук, А. Г.
Опубликовано: Новосибирск , 2003
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br496225
005 20070615192226.1
100 # # $a 20030717d2003 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Численное моделирование плазмохимических реакторов травления  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.13.18  $f Горобчук Алексей Геннадьевич  $g [Ин-т вычисл. технологий Сиб. отд-ния Рос. акад. наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2003 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 15-16 (12 назв.). 
686 # # $a 47.13.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.13.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-567900  $a Горобчук  $b А. Г.  $g Алексей Геннадьевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030717  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo