|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br495711 |
| 005 |
20070615192217.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030716d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Абрамова Елена Александровна
$g [Воронеж. гос. ун-т]
|
| 210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 16 (11 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.37
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-566633
$a Абрамова
$b Е. А.
$g Елена Александровна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030716
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
