Самоорганизация многослойных металлических структур для контактных систем СУБ-100 НМ КМОП ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Хорин Иван Анатольевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Хорин, И. А. |
| Published: | М. , 2002 |
| Physical Description: |
27 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||