|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br462051 |
| 005 |
20201119143939.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030218d2002 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Элементная база и технология изготовления кремниевых микроэлектромеханических систем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.01
$f Шелепин Николай Алексеевич
$g [Гос. учреждение Науч. произв. комплекс "Технол. центр" Моск. гос. ин-та электрон. техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 38 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 32-38 (54 назв.)
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служ. пользования.
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-552720
$a Шелепин
$b Н. А.
$g Николай Алексеевич
$c доктор технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030218
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
