Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Саркаров Таджидин Экберович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад84644,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Саркаров, Т. Э.
Опубликовано: Нальчик , 2002
Физические характеристики: 30 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br460286
005 20070615192035.3
100 # # $a 20030211d2002 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Саркаров Таджидин Экберович  $g [Дагест. гос. техн. ун-т] 
210 # # $a Нальчик  $d 2002 
215 # # $a 30 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 28-30 (30 назв.). 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-552114  $a Саркаров  $b Т. Э.  $g Таджидин Экберович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030211  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo