|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br459665 |
| 005 |
20070615192053.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030207d2002 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0.5-0.8 мкм
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$f Дудников Анатолий Сергеевич
$g Открытое АО "НИИ молекуляр. электроники и з-д Микрон"
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 19 (10 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.23
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-554750
$a Дудников
$b А. С.
$g Анатолий Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030207
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
