Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Павлюченко Максим Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад83624,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Павлюченко, М. Н.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 26 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br457658
005 20070615191931.9
100 # # $a 20030130d2002 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Павлюченко Максим Николаевич  $g [Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)] 
210 # # $a М.  $d 2002 
215 # # $a 26 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 24-26 (22 назв.). 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-543349  $a Павлюченко  $b М. Н.  $g Максим Николаевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030130  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo