Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Лысенко Игорь Евгеньевич
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Лысенко, И. Е. |
| Wydane: | Таганрог , 2002 |
| Opis fizyczny: |
22 с. : ил.
|
| Język: | rosyjski |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||