Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.17.02 / Лобачев Юрий Анатольевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Лобачев, Ю. А. |
| Publicado: | М. , 2002 |
| Descripción Física: |
19 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||