Процессы роста на чистой и модифицированной бором поверхности кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / Коробцов Владимир Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад75400,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Коробцов, В. В.
Опубликовано: Владивосток , 2002
Физические характеристики: 34 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br429126
005 20231215151724.0
100 # # $a 20020920d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Процессы роста на чистой и модифицированной бором поверхности кремния  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 01.04.07  $f Коробцов Владимир Викторович  $g Рос. акад. наук, Дальневост. отд-ние, Ин-т автоматики и процессов упр. 
210 # # $a Владивосток  $d 2002 
215 # # $a 34 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 30-34 (48 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4405  $a БОР (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685016  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8902665  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4008064  $a ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ ОТЖИГ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-530934  $a Коробцов  $b В. В.  $g Владимир Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020920  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo