Разработка конструктивно-технологических решений повышения разрешающей способности метода магнитной силовой микроскопии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Федоров Игорь Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад74601,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Федоров, И. А.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br426078
005 20231212130856.0
100 # # $a 20020910d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка конструктивно-технологических решений повышения разрешающей способности метода магнитной силовой микроскопии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Федоров Игорь Александрович  $g [Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)] 
210 # # $a М.  $d 2002 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 20-22 (16 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar76888  $a СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2648827  $a КАНТИЛЕВЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14454  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33904  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2104743  $a КАЛИБРОВКА (техн.)  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.35.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar14584772  $a Федоров  $b И. А.  $g Игорь Александрович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020910  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo