Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-методическое пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микроэлектронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для специальности 41.01.02 "Микроэлектроника " / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба277553, 1Ба277554,
Вид документа: Книги
Автор: Нелаев, В. В. (род. 1941)
Опубликовано: Минск : БГУИР , 2002
Физические характеристики: 39 с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br420225
005 20220126092240.0
010 # # $a 985-444-348-5 
100 # # $a 20020805d2002 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a gb  $a ga 
200 1 # $a Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем  $e учебно-методическое пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микроэлектронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для специальности 41.01.02 "Микроэлектроника "  $f В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий  $g Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Кафедра микроэлектроники 
210 # # $a Минск  $c БГУИР  $d 2002 
215 # # $a 39 с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография: с. 38―39 (27 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31931  $a СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31932  $a СТАТЫСТЫЧНЫ АНАЛІЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002:658.562.6.012.7:519.2(075.8)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-295377  $a Нелаев  $b В. В.  $g Владислав Викторович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1941 
701 # 1 $3 BY-SEK-484964  $a Стемпицкий  $b В. Р.  $g Виктор Романович  $c кандидат технических наук  $f род. 1978 
712 0 2 $3 BY-SEK-ar10889610  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $b Кафедра микроэлектроники  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020805  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo