|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br411120 |
| 005 |
20220413153345.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 985-445-663-3
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20020607d2002 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы быстрой термообработки
$e Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия
$f В. М. Анищик [и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c БГУ
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 130, [1] с.
$c ил., табл.
$d 21 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 517 |
1 |
# |
$a Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33558
$a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22258
$a ОТЖИГ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33559
$a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22259
$a АДПАЛ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24114
$a ПАДЛОЖКІ (электроніка)
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:621.78
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-271015
$a Анищик
$b В. М.
$g Виктор Михайлович
$c доктор физико-математических наук
$f род. 1945
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-381855
$a Горушко
$b В. А.
$g Валентина Алексеевна
$c интегральные схемы
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-241260
$a Пилипенко
$b В. А.
$g Владимир Александрович
$c доктор технических наук
$f род. 1949
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-310685
$a Пономарь
$b В. Н.
$g Владимир Николаевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-337342
$a Понарядов
$b В. В.
$g Владимир Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-231975
$a Ухов
$b В. А.
$g Виктор Анатольевич
$c кандидат технических наук
$c физик
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar3167023
$a Чигирь
$b Г. Г.
$g Григорий Григорьевич
$c кандидат технических наук
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar167094
$a Белорусский государственный университет
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020607
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
